提供可靠數(shù)據(jù)的先進(jìn)技術(shù)

1、3D測量激光顯微鏡OLS5000可檢測細(xì)微紋理和缺陷，有準(zhǔn)確的橫向分辨率。3D測量激光顯微鏡OLS5000采用405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。

2、奧林巴斯掃描技術(shù)。全新研發(fā)的MEMS掃描振鏡，能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和極小光學(xué)像差的精確X-Y掃描。某些激光顯微鏡無法避免視場周邊區(qū)域測量值的波動(dòng)，但是3D測量激光顯微鏡OLS5000無論是測量視場中間還是邊緣，均可獲得一致的結(jié)果。

3、檢測陡峭斜面和近納米級臺階的形貌。采用4K掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素，是傳統(tǒng)機(jī)型的四倍。由此提高了高度測量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了兩倍。3D測量激光顯微鏡OLS5000無需圖像處理就能檢測幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺階。

4、快速，高精度的測量。3D測量激光顯微鏡OLS5000采用了用于3D數(shù)據(jù)構(gòu)建的PEAK算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時(shí)間。

5、自動(dòng)選擇數(shù)據(jù)采集的通道。3D測量激光顯微鏡OLS5000采用雙共焦系統(tǒng)，可采用不同孔徑的兩個(gè)共焦光學(xué)通道組成。根據(jù)鏡頭類型和數(shù)據(jù)采集模式選擇通道，實(shí)現(xiàn)可靠數(shù)據(jù)的快速采集。

6、Sq噪聲（測量噪聲）保證，可靠運(yùn)行。Sq噪聲是對測量工具對高度檢測的分辨率的量化指標(biāo)。3D測量激光顯微鏡OLS5000可保證測量噪音符合ISO25178-700標(biāo)準(zhǔn)的要求。采用MPLAPON100xLEXT物鏡時(shí)測量噪聲為1納米。

7、LEXT專用物鏡，針對405納米激光優(yōu)化的物鏡。奧林巴斯可提供針對405納米激光減小像差的10x至100x系列物鏡。包括低倍率和長工作距離物鏡。所有LEXT專用物鏡均可確保測量性能，由此可以選擇滿足您觀察樣品的物鏡。

8、智能判定功能，捕捉真實(shí)形貌。由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用諸如圖像平滑處理的方式來消除噪聲，有時(shí)會(huì)將測得的正確的細(xì)微高度不規(guī)則數(shù)據(jù)連同噪聲一起消除。

3D測量激光顯微鏡OLS5000采用奧林巴斯自動(dòng)檢測可靠數(shù)據(jù)的智能判定算法，可在不丟失細(xì)微高度不規(guī)則數(shù)據(jù)的情況下實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測量。

9、積極的可追溯性，實(shí)現(xiàn)可靠運(yùn)行。為確保高質(zhì)量的產(chǎn)品性能，3D測量激光顯微鏡OLS5000從物鏡到激光頭的每個(gè)組件均采用嚴(yán)格的生產(chǎn)系統(tǒng)制造而成。測量結(jié)果基于與國家工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的可追溯系統(tǒng)。在顯微鏡交付時(shí)，經(jīng)驗(yàn)豐富工程師將進(jìn)行系統(tǒng)的最終調(diào)整和校準(zhǔn)，根據(jù)您的應(yīng)用將顯微鏡調(diào)整到上佳狀態(tài)。

10、保證準(zhǔn)確度和重復(fù)性。測量工具的性能通常用準(zhǔn)確度表示測量值與其真實(shí)值的接近程度，用重復(fù)性表示重復(fù)測量值的變化程度。奧林巴斯以基于可追溯系統(tǒng)的顯微鏡保證準(zhǔn)確度和可重復(fù)性，從而讓您對測量結(jié)果充滿信心。

11、混合匹配算法。3D測量激光顯微鏡OLS5000的電動(dòng)載物臺中包含一個(gè)長度測量模塊，奧林巴斯以此確保拼接圖像數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。盡管以前的激光顯微鏡也可根據(jù)圖案匹配拼接數(shù)據(jù)，但3D測量激光顯微鏡OLS5000能夠?qū)㈤L度測量模塊的位置信息添加到模式匹配中，以可擔(dān)保的精度獲得高可靠性的拼接數(shù)據(jù)。

12、提供特定于具體操作環(huán)境的測量性能擔(dān)保，值得您信賴的奧林巴斯性能標(biāo)準(zhǔn)。使用任何測量工具的關(guān)鍵在于能夠在其具體操作環(huán)境中實(shí)現(xiàn)上佳測量性能。如果工具性能僅通過出廠前的檢驗(yàn)保證，而不考慮實(shí)際操作環(huán)境，那么該工具在安裝之后可能無法獲得相同效果。為了確保您能夠獲得所需的性能，奧林巴斯工程師將在您的操作環(huán)境組裝、調(diào)整和校準(zhǔn)該工具。校準(zhǔn)證書和檢驗(yàn)結(jié)果僅在顯微鏡成功安裝后才會(huì)簽發(fā)，由此讓您將能夠充滿信心地使用該系統(tǒng)。

13、精度管理功能，簡單點(diǎn)擊一次即可完成設(shè)備檢查。在將測量結(jié)果記錄作為證據(jù)使用時(shí)，管理設(shè)備的狀態(tài)就非常重要。3D測量激光顯微鏡OLS5000提供校準(zhǔn)功能，可在每次測量之前使用帶有校準(zhǔn)證書的校準(zhǔn)樣品(選配)對設(shè)備狀態(tài)進(jìn)行校準(zhǔn)。點(diǎn)擊一一個(gè)按鈕即可使用校準(zhǔn)樣品完成校準(zhǔn)工作，且校準(zhǔn)結(jié)果將作為記錄添加到報(bào)告中。

14、混合式減振機(jī)構(gòu)，穩(wěn)定性和抗振性好。3D測量激光顯微鏡OLS5000配有采用螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的減振裝置穩(wěn)定操作環(huán)境。

15、全球服務(wù)體系,即世界各地的服務(wù)站點(diǎn)。奧林巴斯提供全球技術(shù)支持(日本、美國、德國，中國、韓國、新加坡、臺灣、印度和澳大利亞)。每個(gè)服務(wù)地點(diǎn)均配有擁有激光顯微鏡技術(shù)許可證的工程師，以及經(jīng)過驗(yàn)證的校準(zhǔn)系統(tǒng)，以此確保產(chǎn)品安裝后的可靠使用。

人性化的高分辨率、高倍率觀察

1、實(shí)時(shí)宏觀測圖，跟蹤樣品位置。當(dāng)載物臺移動(dòng)時(shí)，系統(tǒng)生成的全景宏觀地圖將實(shí)時(shí)對移動(dòng)路徑上的圖像進(jìn)行拼接，幫助用戶找到樣品宏觀地圖也可插入到報(bào)告之中，將樣品的放大圖像與其整體圖像的位置相關(guān)聯(lián)。

2、連續(xù)自動(dòng)對焦，解決聚焦難題。顯微鏡的連續(xù)自動(dòng)對焦功能可較大程度減少手動(dòng)調(diào)整需求，在位置搜索或更換物鏡時(shí)可讓圖像始終保持對焦?fàn)顟B(tài)。保持聚焦跟蹤可讓用戶能夠快速可靠地進(jìn)行觀察操作。

3、用于納米級實(shí)時(shí)觀察的微分干涉顯微鏡（DIC），檢測納米級不規(guī)則形狀。微分干涉顯微鏡（DIC）可用于觀察通常超出激光顯微鏡分辨能力的納米級表面輪廓，甚至使用5x或10x低倍率物鏡也沒有問題。得益 于其DIC激光模式，LEXT?OLS5000激光顯微鏡即便在相對較低的倍率下也能夠獲得與電子顯微鏡相當(dāng)?shù)膶?shí)時(shí)圖像。納米級劃痕和缺陷的實(shí)時(shí)觀察有助于顯微鏡對相當(dāng)細(xì)微的損傷進(jìn)行成像。

4、彩色高動(dòng)態(tài)光照渲染（HDR）觀察，實(shí)現(xiàn)更加清晰的觀察。利用顯微鏡的高動(dòng)態(tài)范圍（HDR）功能實(shí)時(shí)觀察低對比度或存在 光暈的樣品上的細(xì)微形狀。HDR以不同的曝光捕捉多個(gè)圖像并將其進(jìn)行合成。

5、雙模式觀察，彩色及激光觀察。用戶可同時(shí)觀察激光圖像和高分辨率彩色圖像。該方法可用于評估顏色差異或金屬表面的腐蝕情況，以及在極低對比度的樣品（如鏡面或薄膜）上聚焦時(shí)。

高級智能掃描Ⅱ功能

1、智能掃描 II，按下啟動(dòng)按鈕即可進(jìn)行全自動(dòng)3D數(shù)據(jù)采集。使用激光顯微鏡獲取數(shù)據(jù)時(shí)需要進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整，但奧林巴斯的“智能掃描II”可以自動(dòng)執(zhí)行這些調(diào)整，從而較大程度減小采集數(shù)據(jù)的差異，提高工作效率。其智能體現(xiàn)以下幾個(gè)方面：

●掃描速度。奧林巴斯的PEAK算法和雙向掃描測量速度比傳統(tǒng)激光顯微鏡快 四倍。光檢測靈敏度和數(shù)據(jù)采集范圍再無必要，由此大大地提高了工作效率。

●跳躍掃描。在測量存在近似垂直面（如電子器件或MEMS）樣品上的臺階形狀時(shí)，可通過限制Z方向掃描范圍 縮短數(shù)據(jù)采集時(shí)間。在不降低精度的情況下，測量700 μm的臺階大約在15秒左右（使用MPLAPON20x時(shí)）。

●HDR掃描（雙重掃描）。根據(jù)樣品和物鏡情況，并非總是能夠獲得準(zhǔn)確的形狀數(shù)據(jù)。 3D測量激光顯微鏡OLS5000配有能夠根據(jù)每個(gè)樣品要求進(jìn)行調(diào)整的自 動(dòng)判別系統(tǒng)。HDR掃描通過改變檢測靈敏度的方式獲取兩組形狀數(shù)據(jù)，并利用其構(gòu)建準(zhǔn)確的形狀數(shù)據(jù)。

2、豐富的數(shù)據(jù)采集模式，能夠進(jìn)行各種測量。3D測量激光顯微鏡OLS5000擁有多種數(shù)據(jù)采集模式可供選擇。這其中包括可在單視場內(nèi)同時(shí)獲取彩色圖像、激光圖像和3D形狀數(shù)據(jù)的1-區(qū)模 式、獲取視場中心單線形狀的1-線模式以及可測量薄膜厚度的薄膜厚度模式，如下圖。

3、拼接模式，實(shí)現(xiàn)寬視場的高分辨率測量。通過在平面方向拼接數(shù)據(jù)方式可獲得高達(dá)3600萬像素寬視場的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。 可在宏觀地圖上輕松指定目標(biāo)區(qū)域。 指定的拼接區(qū)域可保存留待以后導(dǎo) 入。

4、上表面檢測濾色片，分析透明薄膜的上表面形狀。

當(dāng)透明薄膜放在樣品表面上時(shí)，激光顯微鏡可利 用最高反射光強(qiáng)度檢測界面。上表面檢測濾光片 利用偏振特性輔助上表面形狀檢測。

5、頻帶掃描。在有限目標(biāo)區(qū)域使用1-區(qū)域薄膜厚度模式時(shí)，頻帶掃描可以改變Y方向的數(shù)據(jù)大小，從而以更高速度獲取目標(biāo)區(qū)域的數(shù)據(jù)。

6、超高清（UHD）模式。它在光學(xué)分辨率大于單個(gè)像素尺寸時(shí)非常有用。其可在不增加鏡頭或變焦倍率的情況下準(zhǔn)確捕捉到細(xì)微形狀。

由于字?jǐn)?shù)限制，更多關(guān)于OLS5000顯微鏡功能特點(diǎn)介紹請繼續(xù)瀏覽3D測量激光顯微鏡OLS5000功能特點(diǎn)（二），由此給大家?guī)淼牟槐氵€請見諒，謝謝?。?/span>