8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可對應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，也可以安全有效搬送薄片晶圓，非常適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)特點

●適應(yīng)范圍廣、搭配靈活，8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)具有高度實用性和高度可靠性。

●8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)傳輸各種尺寸的硅片

基于硅片的尺寸，AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)有3種基本機(jī)型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經(jīng)進(jìn)行顯微鏡檢查而設(shè)計。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片。

●8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)可以傳輸超薄的硅片，即薄至90um

為了應(yīng)對更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片，奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)特殊設(shè)計了傳輸手臂，可以應(yīng)對25片裝的200mm的片盒以及薄至90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查?？赏ㄟ^面板預(yù)設(shè)多達(dá)10種不同厚度的硅片信息。

●精密的能力，增強(qiáng)宏觀檢查的功能

新款的具備宏觀檢查功能的機(jī)臺（LMB型）具有360度自動旋轉(zhuǎn)而完成硅片的每面宏觀檢查。這一設(shè)計可以方便的發(fā)現(xiàn)硅片正反面上的缺陷和顆粒。另外，可以通過使用搖桿將硅片傾斜30度進(jìn)行宏觀檢查。

●LCD顯示屏提供精度和操作方便性

LCD顯示屏提供給操作者更直觀的視覺感受，使得奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)檢查項目和次序一清二楚，以及安裝調(diào)試所需要設(shè)置的參數(shù)也一目了然。檢查結(jié)果、包括操作者輸入的宏觀和微觀的缺陷記號一并可以顯示在LCD顯示屏上，方便操作者的回顧。

●精密的可靠性

對于硅片的安全性，AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)采用新的兩種硅片檢測方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購的載物臺自動鎖死功能提高了硅片傳輸?shù)秸婵蛰d物臺的安全性。

●強(qiáng)大和可靠的顯微鏡

奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式：明場、暗場、微分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。配備電動物鏡轉(zhuǎn)盤，與顯微鏡主機(jī)的孔徑光瀾具有聯(lián)動功能，每一次物鏡的切換，孔徑光瀾也會自動變換。

●符合SEMI S2/S8 和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

AL120系列晶圓檢查系統(tǒng)設(shè)計不單只重視傳輸中的硅片的安全，也保證操作者的安全，完全符合SEMI的S2和S8標(biāo)準(zhǔn)，同時也滿足了Rohs標(biāo)準(zhǔn)。

8寸奧林巴斯晶圓檢查系統(tǒng)技術(shù)規(guī)格