晶圓半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX系列各項操作根據(jù)人機工程學(xué)設(shè)計，減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計，可對系統(tǒng)功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能，可根據(jù)實際應(yīng)用，進行功能選擇。
寬視場鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒，所成像的方位與物體實際方向相同，物體移動的方向跟像面移動的方向相同，便于觀察與操作.
大行程移動平臺設(shè)計
采用6寸平平臺設(shè)計，行程158×158mm，可適用于對應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
穩(wěn)重的機架結(jié)構(gòu)設(shè)計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機架過熱。
半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX6R標(biāo)準(zhǔn)配置參數(shù)
型號 | MX6R（反射） | MX6RT（透反射） |
可選擇的觀察方法 | 明場/明暗場/偏振光/DIC | |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) | |
目鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |
觀察筒 | 正像觀察筒，25°鉸鏈?zhǔn)饺?，分光比，雙目：三目=100：0或0:100 | |
物鏡 | LMPlan無限遠(yuǎn)長工作距明場金相物鏡5X、10X、20X、50X（選配：2X、100X） | |
LMPlan-BD無限遠(yuǎn)長工作距明暗場金相物鏡5X、10X、20X、50X（選配：2X、100X） | ||
轉(zhuǎn)換器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |
載物臺 | 6”三層機械移動平臺，行程158x 158mm，右手位X、Y移動手輪，配離合器手柄，可快速移動 | |
/ | 透射行程：100x100mm | |
玻璃工作平臺 | ||
顯微鏡鏡體 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)精度0.001mm,，帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器， | |
單路電源輸出 | 雙路電源輸出 | |
反射照明器系統(tǒng) | 帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽；帶明暗場切換機構(gòu)，預(yù)置中心 | |
采用數(shù)字調(diào)光，具有光強設(shè)定與復(fù)位功能 | 光強連續(xù)可調(diào) | |
透射照明系統(tǒng) | / | 單顆大功率5W LED，白色，光強連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡，帶可變孔徑光闌 |
